前言

便攜式電子產(chǎn)品大多使用鋰離子電池或是鎳氫電池，不過目前鋰離子電池的能量密度發(fā)展已經(jīng)接近理論極限，比較之下燃料動力電池還有極大的能量密度發(fā)展空間，例如甲醇與相同體積鋰離子電池蓄電量比較，甲醇擁有20倍左右的發(fā)熱量，若以20%的電力轉(zhuǎn)換效率，它可以出現(xiàn)數(shù)倍的電氣能量，此外燃料動力電池不要冗長的充電時間，而且對資源回收與削減電池使用量都具有正面貢獻，因此微型燃料動力電池的發(fā)展受到全球重視。

便攜式電子產(chǎn)品用微型燃料動力電池重要分成:被動與主動式直接甲醇(Methanol)燃料動力電池(DMFC:DirectMethanolFuelCell)和附設燃料改質(zhì)器高分子電解質(zhì)燃料動力電池(pEFC:polymerElectrolyteFuelCell)兩種。本文介紹利用MEMS技術制作閥、改質(zhì)器、噴射器等微型燃料動力電池組件，以及微型燃料動力電池的發(fā)展動向。

DMFC的特性

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

DMFC分成被動式與主動式兩種，主動式DMFC供應空氣與燃料動力電池，結(jié)構(gòu)上幾乎沒有任何動態(tài)組件，具體方法首先將混合比例調(diào)整過的甲醇水溶液注入燃料槽內(nèi)，接著利用毛細管現(xiàn)象將燃料輸送到電池，此時為獲得高能量密度，常用手段是提高甲醇水溶液的濃度，然而如此一來甲醇從陽極通過高分子電解質(zhì)膜層(pEM:polymerElectrolyteMembrane)到陰極時，滲出「MethanolCrossOver」現(xiàn)象非常嚴重，該現(xiàn)象電氣上相當于燃料動力電池內(nèi)部短路，因此輸出與效率會大幅下跌。

主動式DMFC則使用泵(pump)、閥(Value)等動態(tài)組件，將空氣與燃料輸送到電池。圖1是主動式DMFC系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具體方法首先將濃度接近100%的甲醇注入燃料槽內(nèi)，再用水稀釋后輸送到電池，甲醇水溶液利用泵循環(huán)，它的濃度被控制在一定范圍內(nèi)(大約數(shù)wt%左右)，如此就可以持續(xù)獲得高能量密度的燃料，同時還可以抑制MethanolCrossOver現(xiàn)象，換句話說甲醇水溶液是利用泵循環(huán)順利排除碳酸氣體并提燃料，接著再用泵強制將空氣輸送到陰極，生成水則回收再使用(Recycle)。

圖1主動式DMFC系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

微型燃料閥

1W至數(shù)W等級微型燃料動力電池的燃料供給系統(tǒng)，要求小型、低消費電力等特性，可行方法例如以壓縮空氣、或是具備適當蒸汽壓力的液態(tài)蒸汽，或是利用彈簧將燃料加壓，燃料槽與電池之間設置常態(tài)關閉閥(NormalCrossValue)，它可以隨著電池的需求打開閥門供應適量的燃料給電池，因此閥門必需具備以下要件:a.半導體芯片大小；b.低消費電力；c.可以對應加壓液體使閥門關閉；d.高量產(chǎn)性。

有關上述(b)與(d)項低消費電力與量產(chǎn)性等要求，研究人員針對壓電與電磁方式進行檢討?；旧蠅弘姺绞?、電磁方式必需使用壓電、磁石等組件，制作上不適合半導體的加工制程；加熱方式結(jié)構(gòu)比較簡單，而且變位與力學也都符合上述要求，不過液體系統(tǒng)熱能會散逸，不易達成低消費電力目標，因此研究人員最后決定采用靜電方式驅(qū)動微型閥門。

靜電方式重要課題是低驅(qū)動電壓化，雖然靜電動作器(Actuator)本身幾乎不會消耗電力，然而一旦提高驅(qū)動電壓，升壓電路本身就會消耗電力。

降低驅(qū)動電壓的方法除了縮減靜電間隙之外，還要降低動作器的剛性，如此一來低剛性動作器就同時符合上述(b)(d)項，以及(c)項「可以對應加壓液體使關閉閥門動作」的要求。

圖2是具備壓力平衡結(jié)構(gòu)微型燃料閥斷面圖，如圖所示已加壓的燃料一旦注入閥門，利用燃料的壓力，靜電動作器內(nèi)會出現(xiàn)開啟閥門的力量，假如沒有特殊設計，動作器的剛性很低時，燃料一旦流入閥門就會任意打開。

如圖2所示閥門利用燃料的壓力平衡隔膜(BalanceDiaphragm)舉升，呈密封狀態(tài)壓力平衡室的體積減少，使壓力上升靜電動作器朝下方推擠，此時靜電動作器正、背面的受壓面積差，靜電動作器內(nèi)出現(xiàn)關閉閥門的力量，由此可知微型燃料閥是利用靜電動作器正、背面的壓力平衡達成常態(tài)關閉(NormalCross)要求，根據(jù)試驗結(jié)果顯示壓力平衡機構(gòu)可以有效動作，入口壓力即使低于20kpa也能夠維持關閉狀態(tài)，閥門的驅(qū)動電壓大約是30~60V。

圖2具備壓力平衡結(jié)構(gòu)微型燃料閥

附設燃料改質(zhì)器的pEFC特性

附設燃料改質(zhì)器的pEFC可以使炭化氫系燃料改質(zhì)出現(xiàn)氫，再將氫輸送到電池發(fā)電。便攜式電子產(chǎn)品用微型燃料動力電池使用下列反應式構(gòu)成的甲醇水蒸汽反應改質(zhì)：

由于水蒸汽改質(zhì)反應屬于吸熱反應，因此必需使用觸媒燃燒器當作熱源，此外水蒸汽改質(zhì)反應的副生成物「一氧化碳」會使pEFC的觸媒毒化，此時為去除一氧化碳，所以設置選擇氧化反應器或是氫分離膜。圖3是附設燃料改質(zhì)器pEFC的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

圖3附設燃料改質(zhì)器pEFC的內(nèi)部結(jié)構(gòu)

雖然附設燃料改質(zhì)器pEFC系統(tǒng)比較復雜，不過它具備下列優(yōu)點:

以氫作燃料的pEFC輸出密度比DMFC高數(shù)倍甚至1位數(shù)以上，假如整合燃料改質(zhì)器，理論上可以達成比DMFC系統(tǒng)更高的輸出密度。

附設燃料改質(zhì)器pEFC系統(tǒng)還可以使用丁烷(Butane)、乙醇(Athanol)等甲醇以外的碳化氫燃料發(fā)電。

有關燃料改質(zhì)器的研究開發(fā)，以美國pacificNorthwester國立研究所(pNNL)、LECUNT、日本CASIO、東北大學等單位最積極，例如日本CASIO公司使用玻璃基板開發(fā)大小約2020mm甲醇改質(zhì)微型反應堆(Reactor)、選擇氧化反應堆以及觸媒燃燒器，接著再將這些組件組合成發(fā)電量為2.5W的燃料改質(zhì)器。

圖4是利用MEMS將燃料改質(zhì)反應堆、觸媒燃燒器、隔熱結(jié)構(gòu)一體化的燃料改質(zhì)器結(jié)構(gòu)，基本上它是在MEMS技術制成的自我支撐薄膜上，進行改質(zhì)反應與觸媒燃燒，甲醇水蒸汽改質(zhì)的場合，它可以使反應單元與周圍隔熱獲得200~300℃的溫度，因此大幅縮減它的熱容量，例如寬300μm長7mm的流道加熱至300℃時，可以降低0.64W左右必要電力，1個流道利用微型加熱器(MicroHeater)加熱至300℃時，流道周圍基板的溫度只有室溫左右的熱度而已。

上述微型燃料改質(zhì)器的甲醇水蒸汽改質(zhì)與氫之間可以作自立性觸媒燃燒，不過受限于觸媒的性能，因此氫的發(fā)生量相當于200mW，熱效率也只有6%左右。

圖4具備自我支撐薄膜結(jié)構(gòu)的燃料改質(zhì)器

圖5的微型燃料改質(zhì)器重要特點是在觸媒燃燒器兩側(cè)設置甲醇水蒸汽改質(zhì)反應堆與燃料蒸發(fā)器，改質(zhì)器整體大小為25205.6mm，以2.4ml/min速度供應甲醇水溶液(水蒸汽/甲醇比S/C=1.9)，可以出現(xiàn)相當于4.7W的氫。

圖5微積化微燃料改質(zhì)器

微型燃料改質(zhì)器必須有熱源，即燃燒器，除此之外還要有可以將燃料與空氣的混合氣輸送到燃燒器的組件，因此研究人員利用液態(tài)瓦斯蒸氣壓力，開發(fā)可以有效將混合氣輸送到燃燒器的微型噴射器(MicroEjector)。

以丁烷為例為了使丁烷(Butane)完全燃燒，必需供應丁烷31倍體積的空氣，假如使用一般微型泵輸送如此大量空氣，微型泵的外形體積與消費電力都非常可觀而且不實用。

噴射器利用一次流體的噴流慣性出現(xiàn)的負壓，與粘性拉扯效應吸引二次流體。圖6是利用MEMS技術制成的微型噴射器內(nèi)部結(jié)構(gòu)，異丁烷(Isobutane)的流量相當于20W時，微型噴射器可以吸入35倍的空氣，不過空氣吸入量隨著出口壓力的新增急遽降低，因此燃燒器的壓力損失必需非常低。

上述微型燃料改質(zhì)器內(nèi)部的微型燃燒器，10W燃燒時只有數(shù)十pa壓力損失，改用微型噴射器的話必需大幅降低壓力損失，因此研究人員正利用CFD(ComputationalFluidDynamics)試圖開發(fā)更高性能的結(jié)構(gòu)。

微型噴射器使用具備液化瓦斯蒸汽壓力的Exergie吸引空氣，這意味著微型噴射器必需整合低壓力損失高耐壓微型閥。圖7是微型噴射器用微型閥的構(gòu)造與動作原理，本微型閥使用靜電控制大流體驅(qū)動閥，重要特點如下:

開啟狀態(tài)低壓力損失

高Leak耐壓NormalCross動作

低消費電力

流體驅(qū)動閥的壓力源亦即控制對象是液態(tài)瓦斯，所以不要外部壓力。圖7(a)的微型閥呈關閉狀，左側(cè)是靜電驅(qū)動閥呈開啟狀，右側(cè)的靜電驅(qū)動閥一旦關閉，液態(tài)瓦斯就會傳送到連接于微型噴射器的中央流體驅(qū)動閥上下，利用受壓面積差中央流體驅(qū)動閥被擠壓至閥膜上形成關閉狀，值得一提的是兩靜電驅(qū)動閥都是設置在施加液態(tài)瓦斯就會關閉的位置上而且閥徑只有20μm(驅(qū)動電壓為30V)，這意味著MEMS技術非常適合制作流體驅(qū)動閥。

圖7(b)的微型閥呈開啟狀，左側(cè)是靜電驅(qū)動閥呈關閉狀，右側(cè)靜電驅(qū)動閥一旦開啟，連接于微型噴射器的中央流體驅(qū)動閥下側(cè)就會開放大氣，接著利用空氣中央流體驅(qū)動閥朝下方擠壓變成開啟狀。

由于支撐該閥的隔膜(Diaphragm)被加工成可以大幅變位的皺折狀(Corrugation)，所以可以達成「開啟狀態(tài)時低壓力損失」預期目標，壓力損失10cc/min時只有1.7kpa，關閉狀態(tài)時壓力差即使160kpa也未檢測出刻意的Leak。

圖6微型噴射器內(nèi)部結(jié)構(gòu)

圖7微型噴射器內(nèi)部微型閥結(jié)構(gòu)

微型燃料動力電池的發(fā)展動向

2000年初美、日等國外研究單位相續(xù)采用MEMS技術開發(fā)微型燃料動力電池，其中以Kelly氏發(fā)表的硅隔板(SiliconSeparator)微型燃料動力電池(圖8)結(jié)構(gòu)最單純，接著其它研究單位也陸續(xù)推出同類型燃料動力電池，這些電池的Cell心臟部位亦即陽極觸媒、離子傳導薄膜、陰極觸媒，都是沿用傳統(tǒng)pEFC的薄膜?電極組合(MEA:MembraneElectrodeAssembly)，所謂MEA是利用熱壓縮(Hotpress)技術將觸媒薄膜粘貼在pEM兩面。

傳統(tǒng)pEFC以隔板將MEA挾持鎖定，結(jié)構(gòu)上必需組合復數(shù)組件，因此不適合利用MEMS技術制作，因此Morse氏在硅基板上依序制作陽極、pEM、陰極薄膜，進而構(gòu)成圖8(b)所示微型燃料動力電池，陽極與陰極薄膜利用濺鍍法制作，pEM薄膜則利用旋轉(zhuǎn)涂布法(SpinCoating)制作，因此可以獲得一體化(Monolithic)結(jié)構(gòu)，該微型燃料動力電池以氫作為燃料，90℃時可以達成3.8mW/cm2的輸出密度。

圖8微型燃燒電池內(nèi)部結(jié)構(gòu)

由于燃料動力電池單Cell電壓通常只有0.4~0.8V左右，因此復數(shù)Cell串聯(lián)連接成為提高電壓常用手段。如圖9所示重要電池連接方法有四種，圖9(a)是一般燃料動力電池采用的連接方式，這種連接方式又稱為「雙極儲備(BipolarStocking)」。

圖9(b)~(d)的連接方式在基板上制作微細結(jié)構(gòu)，一般認為這種方式比較適合使用MEMS加工制作。

圖9(c)復數(shù)Cell串聯(lián)連接構(gòu)成的燃料動力電池，雖然這種方式必需將燃料傳送到電池兩側(cè)，不過從電池一端到對向側(cè)相異基板之間卻不要導線連接，若與圖9(b)連接方式比較，它的組裝與布線等作業(yè)相比較較容易，因此Lee氏的微型燃料動力電池也采用這種稱為「FlipFlopInterconnection」串聯(lián)連接方式。

圖9(d)是將復數(shù)Cell串聯(lián)連接成一體狀的另一種連接方式，由于試作時與pEM觸媒電極的密著性不足，所以只能獲得1μW/cm2等級的輸出密度，不過Mayers與Maynard氏針對陰極與陽極對向結(jié)構(gòu)進行理論計算，根據(jù)計算結(jié)果顯示種方式必可以獲得40%左右的體積輸出密度，Motokawa氏根據(jù)上述結(jié)構(gòu)試作微型DMFC，使用添加硫酸的甲醇水溶液時，可以獲得0.78mW/cm2的輸出密度。

除此之外研究人員應用濺鍍技術在porousSilicon表面制作觸媒電極，DArrigo與Hayase氏則以電解電鍍法取代濺鍍技術，試圖獲得更高性能的觸媒電極。

使用網(wǎng)版印刷技術將白金Carbonpaste圖案化制成觸媒電極的pichonat氏將質(zhì)子(proton)傳導性樹脂?(Nafion,Du-pONT)浸泡于porousSilicon，再將它當作pEM制成微型燃料動力電池；Gold氏則將porousSilicon浸泡于硫酸制成pEM，一連串繁瑣加工重要目的希望pEM不易受到生成水或是甲醇膨潤，進而防止pEM剝落。

圖9Cell串聯(lián)連接方式

結(jié)語

以上介紹利用MEMS技術制作閥、改質(zhì)器、噴射器等微型燃料動力電池組件，以及微型燃料動力電池的發(fā)展動向。

目前可攜式電子產(chǎn)品大多使用鋰離子電池或是鎳氫電池，不過傳統(tǒng)充電電池的能量密度極限以及惱人的充電時間，造成使用自由度受到大幅限制，因此微型燃料動力電池的發(fā)展受到全球高度重視，其中又以日本廠商最積極。事實上已經(jīng)有部份行動電話已經(jīng)開始使用微型燃料動力電池，一般認為隨著次世代行動電話問世，未來微型燃料動力電池勢必成為可攜式電子產(chǎn)品重要電力來源。